强“智”固链 沈阳中德园新添半导体机器人研发生产基地

科技自强时不我待，产业兴区只争朝夕。“五一”来临前，中科芯微半导体机器人研发生产基地项目在沈阳中德园启动。项目聚焦半导体专业设备领域的国产替代研发，将打造国内领先的集研发、生产、销售为一体的半导体机器人研发生产基地，加速攻克“卡脖子”，填补相关领域国产替代市场的空白，推动沈阳市铁西区（经开区、中德园）战略性新兴产业集群冲刺新高度、超车新赛道。

突破技术壁垒 填补半导体领域国内空白

4月30日，记者在项目启动活动中了解到，中科芯微智能装备（沈阳）有限公司（以下简称“中科芯微”）是由素珀电子科技（上海）有限公司（以下简称“素珀电子”）投资创立的高新技术企业，主要专注于半导体制造核心装备的自主研发与产业化。作为一家潜在独角兽企业，素珀电子于2020年6月“落子”沈阳铁西，在沈阳经开区设立研发生产基地——中科芯微，逐步构建起覆盖芯片制造前道工艺全制程的设备体系。

五年来，中科芯微年均推出5-10项创新产品，累计完成十余项重大科技攻关项目，成功开发出20余种高精度半导体洁净机器人系列产品，突破了相关技术壁垒，在精密传动系统、真空环境兼容性、纳米级定位精度等“卡脖子”领域取得重大进展。

30日启动的中科芯微半导体机器人研发生产基地项目，计划总投资5亿元，占地面积6.9万平方米，规划建筑面积约8.3万平方米，将建设数字化智能制造生产厂房、半导体核心设备实验室、研发综合楼等设施。项目竣工投产后，可实现年产半导体机器人1000台套，预计新增产值10亿元，税收5000万元，新增就业500余人。

感受营商沃土 吸引上下游企业补链强链

“项目的成功启动，让企业真切感受到‘沈阳速度’与‘振兴诚意’。”素珀电子科技（上海）有限公司董事长、中科芯微智能装备（沈阳）有限公司董事长朱玉东表示，从五年前企业落户沈阳经开区、中德园开始，就不断体会着沈阳铁西这片营商环境沃土的强力支撑。

本次项目从政策专班对接、土地要素保障等高效服务，到中德园的产业链协同配合，再到区域内沈阳工业大学、沈阳化工大学两所高校的政校企合作和人才支持，处处体现出沈阳铁西的发展“硬实力”和营商“软环境”，也让企业感受到沈阳“打造东北半导体产业新高地”的战略决心。

“希望在新的研发生产基地建成后，依托本地产业链、供应链的带动，能够吸引更多上下游企业加入，共同形成产业链聚集发展的良好态势。”朱玉东说。

作为项目的服务保障方代表，中德（沈阳）高端装备制造产业园项目（企业）服务中心主任王大力表示：“项目是区域发展的生命线，我们一直在为企业提供全链条‘保姆式’的精密对接服务。”今年，沈阳经开区、中德园还会将整体项目服务模式从“店小二”升级为“快递员”，推动服务理念、机制、效能实现系统性变革，用“快递员”式的主动作为、上门服务，催生发展质变，真正让企业在铁西无顾虑投资、无干扰建设、无障碍发展。

铸强新质引擎 新材料产业集群持续壮大

“本次项目的启动，实现了高精尖技术与铁西‘大国重器’深厚底蕴的深度融合，不仅体现了素珀电子的长远战略眼光，也标志着铁西多元布局、补齐短板的业态培育初见成效。”铁西区（经开区、中德园）相关负责人在活动致辞中表示，科技创新企业与工业大区的“强强联合”，必将为沈阳新材料产业发展提供有力支撑，为全面振兴取得新突破注入强劲动力。

今年以来，铁西区依托汉京、贺利氏等龙头企业，持续推动关键核心技术攻关，提升先进新材料产业发展能级，推动新材料产业集群高质量发展。一季度，铁西区新材料产业集群实现规上产值75.9亿元，同比增长9.7%，约占全市48.6%，排名全市第一。

“下一步，我们将以‘强攻二季度，勇夺双过半’的拼搏精神，全面加快项目建设步伐。”铁西区相关负责人表示，铁西将立足自身产业基础和发展定位，全力构建具有区域发展特色的新材料及集成电路产业体系，提质升级先进金属、化工、无机非金属材料产业链条，培育壮大超高纯净石英半导体材料产业规模，全力支持中科芯微申报潜在独角兽企业，推动传统制造业转型升级、新兴产业发展壮大，为区域经济发展蓄势赋能。